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为什么芯片光刻需要极紫外光?
芯片光刻需要极紫外光主要是因为极紫外光波长短、分辨率高、以及能够实现更复杂的芯片设计。
1、极紫外光波长短。极紫外光波长仅为13.5nm,相比传统193nm光源更短,能够实现更高的分辨率,从而在芯片上刻出更小的电路结构。
2、分辨率高。极紫外光的短波长特性使其在光刻过程中能够精确刻画更细小的细节,有助于提升芯片的集成度和性能。
3、实现更复杂的芯片设计。极紫外光刻技术能够在单个芯片上集成更多晶体管,同时减少层数,从而实现更复杂且高效的芯片设计,满足高性能计算的需求。
总结:芯片光刻需要极紫外光,是因为极紫外光波长短、分辨率高以及能够实现更复杂的芯片设计。
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